泉港洁净厂房验收标准 测试方法

泉港洁净厂房验收标准与测试方法指南

一、验收核心指标体系

1. ‌洁净度等级‌

• 电子/半导体厂房按ISO 14644-1分级，百级洁净区≥0.5μm颗粒数≤3520个/m³且≥5μm颗粒数为013

• 医药厂房需同时控制微生物浓度（浮游菌≤5CFU/m³，沉降菌≤1CFU/皿）24

• ‌标准要求‌：

• ‌判定方式‌：多点位采样（间距0.5-1m，工作面高度0.8-1.5m），连续48小时动态测试达标45

2. ‌压差控制‌

• 洁净区与非洁净区压差≥10Pa，相邻洁净室梯度压差≥5Pa47

• 波动范围≤±10%，需使用微压差计连续监测57

3. ‌温湿度精度‌

• 通用标准：温度20-24℃（±1℃），湿度45-60%RH（±5%）37

• 特殊工艺（如芯片制造）：温度23±0.5℃，湿度45±3%RH3

4. ‌噪声控制‌

• 空态运行≤65dB(A)，设备运行状态≤70dB(A)47

5. ‌材料密封性‌

• 彩钢板接缝漏风率≤0.5m³/(h·m²)，高效过滤器安装后泄漏率≤0.01%38

二、关键测试方法

1. ‌洁净度检测‌

• 空调系统连续运行≥24小时后进行4

• 按网格法布点（每100㎡≥5个测点），采样高度0.8-1.2m58

• 每个测点采样3次，每次1分钟，取平均值4

• ‌设备‌：激光尘埃粒子计数器（0.3-5μm粒径监测）48

• ‌流程‌：

2. ‌压差测试‌

• 相邻区域门开启30°状态下测量压差梯度7

• 动态压差波动记录≥8小时数据5

• ‌工具‌：微压差计（精度±1Pa）

• ‌方法‌：

3. ‌温湿度验证‌

• 连续监测8×48小时，数据间隔≤6分钟5

• 测点覆盖工艺设备区、回风口、墙角等敏感区域5

• ‌设备‌：数字温湿度记录仪（精度±0.5℃/±3%RH）7

• ‌要求‌：

4. ‌气流组织检测‌

• 单向流区域风速均匀性偏差≤±20%37

• 非单向流区域换气次数达标（如ISO Class 5≥300次/h）3

• ‌参数‌：

• ‌方法‌：CFD模拟验证结合风速仪实测37

5. ‌微生物监测‌

• 沉降菌检测：90mm培养皿暴露≥30分钟8

• 浮游菌检测：采样点位与洁净度测点同步布置48

• ‌设备‌：浮游菌采样器（采样量≥1m³/min）

• ‌流程‌：

三、验收流程

1. ‌空态测试‌

• 无设备/人员状态下完成基础参数（洁净度、压差）检测24

2. ‌静态测试‌

• 设备安装后验证温湿度、噪声及气流组织25

3. ‌动态测试‌

• 模拟生产状态，检测微生物、粒子浓度等综合指标48

四、行业差异要点

通过多维度检测验证，可确保泉港洁净厂房持续符合设计规范，具体执行需结合GB 50073、GB 50591等行业标准动态调整